当前位置: 首页 > news >正文

SHOT FLOORPLAN 中的定位mark 和test key 做法和注意事项

SHOT FLOORPLAN :

VIS VIS 一个SHOT 是指单次光刻时所朴曝光的区域,一般FAB 会规定一个最大的极限面积要求,然后设计人员在此面积下进行DIE 的flooplan ,可以是单颗的DIE 进行重复,也会进行主片和副片的插花die 的形式,在验证和得片率之间进行取舍,如果是验证过量产的芯片,会尽量减少插花die 的数量。成本上是mask 制作是一次性的,插花die 在验证时尽量要保证少改动底层的AA POLY 层次,可以预留metal option 方便后续改版。还有就是主die 和 插花die 的layer mask 选择上要选择 主>插花 ,避免产生两个flow ,不能生产在同一片wafer 上,例如在VIS 厂时1P3M 与1P4M flow 是不兼容的,CTM2 与 CTM3 无法做在同一片wafer。
关于test key 与 mark gds ,test key 是可以做在scribe line 里的,这里是需要与foundry 进行沟通的,fab 自己也是需要放置一些test key / test pattern / 定位mark 等,如果需要特殊要求,如wafer on wafer ,(需要镜像对称),fab 会按设计公司要求设计需要的mark gds 与 test key gds ,这样在SHOT FLOORPLAN 是,不仅需要进行die 的摆放,还需要对mark gds 和test pattern 进行floorplan ,其中设计到大量的重复数据操作,如提取大量的gds 的location list ,floorplan 示意图制作,以及对mark & test——key 进行打包 和撒dummy ,本文将详细介绍一下操作步骤和关键事项,以及分享一些有用的脚本等。 关于test key 与 mark gds ,test key 是可以做在scribe line 里的,这里是需要与foundry 进行沟通的,fab 自己也是需要放置一些test key / test pattern / 定位mark 等,如果需要特殊要求,如wafer on wafer ,(需要镜像对称),fab 会按设计公司要求设计需要的mark gds 与 test key gds ,这样在SHOT FLOORPLAN 是,不仅需要进行die 的摆放,还需要对mark gds 和test pattern 进行floorplan ,其中设计到大量的重复数据操作,如提取大量的gds 的location list ,floorplan 示意图制作,以及对mark & test——key 进行打包 和撒dummy ,本文将详细介绍一下操作步骤和关键事项,以及分享一些有用的脚本等。
关于打包建cell 的注意事项 :就是坐标与cell 的边长是统一放在SHOT 下的,为了防止放错,应该防止cell view 时禁止翻转,即![image],ROtation 为0 度(https://img2024.cnblogs.com/blog/2938433/202511/2938433-20251126111742496-1189761807.png)
location list 脚本 1764127243490_3368e225519c413dbf6dacfb2f4dfeb8
得到location list 后由python 脚本得到示意图 (脚本未成功,本人依旧手绘,但一定可行)
撒dummy ,shell 脚本,可以将多个dummy cell 同时建在同一个run shell 指令脚本中,一次性跑完 image
inport gds ,将建好的dummy 都存到一个文件夹内,导入的时候可以一次性选择导入所有gds 文件 (PS 这么多年我也是第一次知道可以多选)
也是一样建一个shell 指令文档,然后一次性操作所有文件 image
注意事项,在导入多个dummy gds 时一定要记得在option 选择rename ,否则会覆盖掉导致错乱

image

http://www.jsqmd.com/news/51420/

相关文章:

  • 2025年知名的机械加工厂家推荐及选择指南
  • 2025年靠谱的钢材45#锯切厂家推荐及选择参考
  • 2025 战略咨询榜单:帮企业突破增长瓶颈的 10 大力量
  • 2025年知名的遥控割草机最新TOP厂家排名
  • 2025年靠谱的冷库制冷压缩机行业内知名厂家排行榜
  • 2025年知名的Cr12MoV模具钢最新TOP品牌厂家排行
  • Windows图形漏洞深度剖析:远程代码执行与内存泄露
  • 2025年知名的不锈钢鹦鹉笼最新TOP厂家排名
  • 拓扑 AC 2025 线上 NOIP 联测 #3
  • 2025年口碑好的铁氟龙喷涂厂家最新推荐权威榜
  • 2025年比较好的高压风机厂家选购指南与推荐
  • 2025年靠谱的称重模块生产厂家实力及用户口碑排行榜
  • Nessus Professional 10.11 Auto Installer for RHEL 10, AlmaLinux 10, Rocky Linux 10 - Nessus 自动化安装程序
  • Nessus Professional 10.11 Auto Installer for Ubuntu 24.04 - Nessus 自动化安装程序
  • 2025年 SUV车型轮胎推荐:五大安全胎深度测评
  • Nessus Professional 10.11 Auto Installer for macOS Tahoe - Nessus 自动化安装程序
  • 中电金信 :「AI智变」银行对公业务如何以AI应对挑战、重塑增长?
  • 2025年北京橡胶垂直燃烧检测公司权威推荐榜单:北京橡胶老化检测/北京特种橡胶检测/北京天然橡胶检测服务机构精选
  • 2025年 SUV车型轮胎推荐:TOP5轮胎权威榜单
  • 基于空时阵列最佳旋转角度的卫星导航抗干扰信号处理的MATLAB仿真
  • Packet Tracer 验证OSPF协议时遇到的问题
  • 【ACM出版丨见刊后25天完成EI检索丨高录用】第五届大数据、人工智能与风险管理国际学术会议 (ICBAR 2025)
  • 2025年广州内部财务梳理公司权威推荐榜单:工商注销‌/代理记账‌/税务筹划‌源头公司精选
  • 2025年开体船批发厂家权威推荐榜单:摆渡船‌/运沙船‌/运输船‌源头厂家精选
  • 2025青岛出国留学中介机构前十名
  • 2025年卧式洗涤塔厂商权威推荐榜单:氧割烟尘除尘设备/低温等离子废气设备/有机肥臭气处理设备源头厂商精选
  • 2025留学中介十强
  • 2025 最新青岛膏药代理加盟公司推荐!外用健康产品代理加盟口碑榜:透骨液 / 足浴包 / 膏药类强企产品效果与创业加盟价值全景解析
  • 2025广州的留学机构有哪些地方
  • 2025北京的留学机构排名前十