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模组无尘系列(Clean Room Series)全解析

TOYO(东佑达)无尘系列模组专为Class 10(ISO 14644-1 标准)洁净室环境设计,通过密封结构优化、真空抽气系统、低发尘材料与润滑三大核心技术,实现运行时发尘量≤10 particles/ft³,广泛应用于半导体、FPD、食品、医疗等对洁净度要求严苛的领域。全系列产品在 TOYO 无尘室工厂组装,确保出厂洁净度达标东佑达机器人(苏州)有限公司。


一、无尘系列产品分类与型号

TOYO 无尘系列涵盖四大核心产品线,适配不同负载与精度需求:

系列驱动方式结构特点主要型号洁净等级
ECH 系列滚珠螺杆标准型无尘螺杆滑台ECH14/ECH17/ECH22/ECH17M/ECH22M/ECH2 系列Class 10(真空抽气)
GCH 系列滚珠螺杆轨道内嵌式无尘滑台GCH4/GCH5/GCH8/GCH12/GCH5S/GCH8SClass 10(可升级 Class 1)
ECB 系列同步皮带无尘皮带滑台ECB5/ECB6/ECB10/ECB14/ECB17/ECB22MClass 10
GTH 系列滚珠螺杆扁平型轨道内嵌式无尘滑台GTH8/GTH12Class 10
CGCH 系列滚珠螺杆无尘小型电动缸 - 滑台式CGCH4/CGCH5Class 10

二、核心技术特点(Class 10 洁净保障)

1. 三重密封防护系统

  • 钢带防尘:特殊不锈钢带全覆盖导轨与螺杆,防止粉尘进入与逸出
  • 唇形密封圈:滑座两端安装高密封性唇形密封圈,阻隔内部粉尘外泄
  • 刮屑板:前端刮屑设计,清除外部异物,保护内部洁净环境

2. 真空抽气系统(ECH/GCH 系列标配)

  • 本体两侧预留真空抽气嘴,可外接真空源抽除内部运转产生的微粒
  • GCH 系列可通过真空系统升级至Class 1洁净等级,满足半导体高端制程需求
  • 抽气嘴位置合理布局,确保气流均匀,无死角残留粉尘

3. 低发尘设计与材料

  • 滑轨采用链带型滚珠保持架,减少滚珠间碰撞与摩擦发尘(ECH2 系列标配)
  • 专用无尘润滑脂(FEP2/NSK G-2),发尘量仅为普通润滑脂的 1/10东佑达机器人(苏州)有限公司
  • 铝型材本体表面特殊阳极处理,减少静电吸附与粉尘脱落东佑达机器人(苏州)有限公司
  • 全系列在无尘室组装,避免出厂污染东佑达机器人(苏州)有限公司

4. 性能与普通系列对标

  • 重复定位精度:±0.005mm(螺杆驱动)/±0.05mm(皮带驱动),与 ETH/ETB 系列一致
  • 最大速度:螺杆型可达1000mm/s,皮带型可达3000mm/s
  • 负载能力:从2kg(GCH4)50kg(ECH22),覆盖全应用场景
  • 两侧外拉注油嘴设计,无需拆卸钢带即可外部注油,简化维护东佑达机器人(苏州)有限公司

三、各系列核心参数与应用场景

1. ECH 系列(标准型无尘螺杆滑台)

  • 结构:标准螺杆滑台 + 钢带密封 + 真空抽气嘴
  • 导程:5/10/20mm(C7 级精密滚珠螺杆)
  • 最大负载:ECH14(25kg)/ECH17(35kg)/ECH22(50kg)
  • 应用:半导体贴片装置、构装设备、测试检查仪器、FPD 面板搬运TOYO东佑达
  • ECH2 二代升级:标配链带型滑轨、优化真空系统、支持本体颜色定制

2. GCH 系列(轨道内嵌式无尘滑台)

  • 结构:轨道内嵌式设计,宽度缩小 30%,刚性提升 20%
  • 型号参数
    型号螺杆直径导程最大速度最大负载
    GCH4Ø10mm2/6/12mm720mm/s25kg
    GCH5Ø12mm5/10/20mm1000mm/s35kg
    GCH8Ø16mm10/20mm1000mm/s50kg
  • 优势:可由上往下安装,节省空间;外部注油设计,维护便捷
  • 应用:半导体晶圆搬运、医疗设备、精密装配线TOYO东佑达

3. ECB 系列(无尘皮带滑台)

  • 结构:同步皮带驱动 + 钢带密封 + 防尘端盖
  • 最大速度:3000mm/s(ECB22M),适合高速搬运
  • 重复定位精度:±0.05mm
  • 应用:食品包装、电子元件高速分拣、医疗耗材组装

4. GTH 系列(扁平型轨道内嵌式无尘滑台)

  • 结构:扁平设计,宽度比 GCH 系列更窄,适合狭小空间安装
  • 刚性:本体与滑座一体成型钢材,刚性提升 40%
  • 应用:注射器组装、微创手术器械生产、3C 精密零部件装配

四、选型指南(按应用场景)

1. 半导体 / 晶圆处理(Class 1-10)

  • 首选:GCH 系列(轨道内嵌式,真空升级 Class 1)或 ECH2 系列
  • 关键参数:重复定位精度 ±0.005mm,导程 5-10mm,真空抽气必选
  • 推荐型号:GCH5/GCH8/ECH17M(带电机安装法兰)

2. FPD 面板制造(Class 10)

  • 首选:ECH 系列(标准型)或 ECB 系列(高速搬运)
  • 关键参数:速度≥500mm/s,负载 20-35kg,防尘等级 IP54
  • 推荐型号:ECH17/ECB17(平衡速度与精度)TOYO东佑达

3. 食品 / 医疗包装(Class 100)

  • 首选:ECB 系列(皮带驱动,清洁便捷)或 GTH 系列(扁平设计)
  • 关键参数:无油润滑可选,易清洁结构,耐腐蚀表面处理
  • 推荐型号:ECB10/GTH8(小型化,适合生产线集成)

4. 医疗设备组装(Class 10)

  • 首选:CGCH 系列(小型电动缸)或 GCH4(轻负载高精度)
  • 关键参数:重复定位精度 ±0.005mm,低噪音(≤55dB),无菌润滑
  • 推荐型号:CGCH5/GCH4(适合狭小空间操作)

五、安装与维护要点

1. 安装注意事项

  • 洁净室操作:安装前需在 Class 100 环境下拆除包装,避免污染
  • 真空连接:ECH/GCH 系列需连接真空源(建议真空度≥-0.05MPa),确保抽气效果
  • 接地处理:本体需可靠接地,防止静电吸附粉尘东佑达机器人(苏州)有限公司
  • 安装精度:基座平面度≤0.02mm/m,确保模组运行平稳

2. 润滑与维护规范

维护项目周期操作要点注意事项
润滑脂补充5000 小时使用 FEP2/NSK G-2 无尘专用润滑脂,通过两侧注油嘴注入严禁使用普通润滑脂,用量为普通系列的 70%
真空抽气嘴清洁每月用无尘布擦拭抽气嘴滤网,检查是否堵塞堵塞会导致洁净度下降,影响产品质量
密封件检查每季度检查钢带、密封圈是否磨损或变形损坏需立即更换,避免粉尘泄漏
发尘量检测每半年用粒子计数器检测运行时发尘量超标需排查润滑、密封或安装问题

3. 清洁流程(参考前文详细清洗指南)

  1. 断电拆除电机与联轴器
  2. 99.9% IPA无尘布擦拭表面,防静电毛刷清理死角
  3. 真空吸尘器吸除粉尘,避免高压气枪导致粉尘扩散
  4. 自然干燥≥30 分钟后重新润滑与组装东佑达机器人(苏州)有限公司

六、与普通系列(ETH/ETB)关键差异

对比项无尘系列(ECH/GCH/ECB)普通系列(ETH/ETB)
洁净等级Class 10(真空抽气)工业级(无特殊洁净设计)
密封结构钢带 + 密封圈 + 刮屑板三重防护普通防尘罩
润滑系统无尘专用润滑脂,外部注油普通润滑脂,内部注油
抽气功能标配真空抽气嘴
组装环境无尘室工厂组装普通车间组装
价格区间普通系列的 1.5-2 倍标准定价

七、总结与选型建议

  1. 核心价值:TOYO 无尘系列通过密封 + 真空 + 低发尘技术,实现 Class 10 洁净等级,满足半导体等高端制造需求
  2. 选型逻辑
    • 高精度需求(±0.005mm):选 ECH/GCH 螺杆系列
    • 高速搬运(>1000mm/s):选 ECB 皮带系列
    • 狭小空间安装:选 GCH/GTH 轨道内嵌式系列
  3. 专业支持:如需定制 Class 1 等级或特殊长度 / 导程,可联系 TOYO 官方授权代理商(如东莞欧瑞能自动化)获取技术方案

需要我根据你的具体应用场景(如半导体晶圆搬运 / 医疗设备组装)和参数要求(负载 / 速度 / 精度),提供定制化的无尘系列模组选型表与配置清单吗?

http://www.jsqmd.com/news/217264/

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