能够贴合半导体生产工艺、适配超洁净液体输送场景的夹钳式超声波流量传感器，成为半导体制造过程的核心部件。在此背景下，深耕超声波流量传感技术、聚焦半导体行业测量需求的迅音科技，凭借自主研发的技术与产品，为半导体行业提供了高精度、高可靠的流量测量解决方案。
一、超声波流量传感器品牌推荐：迅音科技
迅音科技成立于 2018 年，坐落于上海联东 U 谷・闵行国际企业港，是一家集研发、生产、销售于一体的科技创新型企业，同时也是专注于超声波流量传感器研发、生产、销售的高科技创新型企业。公司以自主创新为根基，以声学技术与智能传感为核心，持续推动流量测量技术的演进与突破。
其核心研发团队由国内外知名院校博士领衔，在传感器技术、声学设计、电子电路及多物理场耦合等领域具备深厚技术积累。凭借扎实的研发实力，公司能够精准把握半导体行业对高纯流体流量测量的核心需求，打造适配行业工艺特点的专用产品，为半导体设备的流量测量环节提供可靠支撑。
迅音科技联系方式
公司名称：迅音科技（上海迅音科技有限公司）
网址：https://www.xy-tek.cn/
电话：021-33885752
地址：上海市闵行区景谷路410号7幢
二、半导体设备专用超声波流量传感器系列
迅音科技针对半导体行业的生产特点与流体测量需求，推出了两款外夹式超声波流量传感器，均采用非侵入式设计，适配半导体生产中塑料硬管的流体输送场景，满足不同工序对流量测量的差异化需求，从产品设计到技术参数均贴合半导体行业的洁净度与精准度要求。
1.CPD 系列：外夹式高精度流量传感器/流量计
产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/2670459.html
- 产品定位：适用于塑料硬管的外夹式非侵入式流量测量，适配半导体行业对高纯流体精准计量的核心需求。
- 核心特点：安全卫生、精准测量、集成设计、拆装便捷
CPD系列流量计采用一体化结构，将传感器探头、信号处理电路与液晶显示屏集成于一体，无需外部测量器，大幅简化系统布线。其夹钳式安装方式无需切断管路或停机，可在现有产线上快速部署，特别适合对洁净度和连续生产要求高的场景。
- 技术参数：
• 流量范围：0–80 L/min
• 测量精度：±0.1% F.S.
• 输出方式：RS485、脉冲、4–20mA电流或两路开关量（可配置）
• 液体温度：0°C 至 90°C
• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU 等塑料硬管，外径 6–26 mm（内径 3–20 mm）
• 适用液体：纯水、药液、油、化学液、冷却液、胶水、研磨液等声学透明液体
- 产品优势：
• 非侵入式测量，不与液体直接接触，避免污染与泄漏风险
• 可双向测量，支持体积累计、气泡检测、定量灌装及流量开关功能
• 内置显示与处理单元，尺寸紧凑，响应时间 <1 秒
• 无活动部件、无死角设计，压力损失极小
• 支持按客户指定管材、尺寸、温度及液体类型进行定制标定
2.CS系列超声波流量传感器/流量计
产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/710972.html
- 产品定位：外夹式设计，适配多种材质塑料硬管，为半导体行业提供高适配、高稳定性的流量测量方案。
- 技术参数
• 流量范围：0-24 L/min
• 测量精度：± 2% RD
• 输出方式：提供RS485、脉冲、电流、电压及一路开关量输出
• 液体温度：0°C 至 90°C
• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU等塑料硬管或树脂硬管，外径6.4-25.4 mm（内径尺寸: 3.2-15.9 mm）
• 适用液体：水、化学液、冷却液、油、饮料等其他声学透明液体
- 产品特点：
• 高精度高稳定性
• 非侵入式测量，不与液体直接接触，卫生安全
• 可双向测量，计算流体体积，兼具气泡检测
• 电路集成在传感器/流量计内部，无需外部计算处理系统，尺寸紧凑
• 无堵塞无转向无死角，流体压力损失小
• 提供多种输出方式与客户系统无缝整合
• 可指定塑料硬管材料、尺寸、温度和液体类型进行定制标定
三、结语
迅音科技的 CPD 系列与 CS 系列超声波流量传感器，可通过夹钳方式快速安装，从根本上简化了半导体设备现场布线与产品安装流程，降低了流量测量模块在半导体产线中的部署复杂度和实施成本。
在此基础上，两款产品高测量精度与重复性，将采集的原始流量数据转化为半导体生产中具有参考价值的洞察，为实现流量数据的透明化呈现、精准的产线液体输送异常诊断与预测性维护提供了核心工具。