【计算机科学技术】从晶圆制备到芯片出厂的流程
从晶圆开始到芯片出厂,整体流程可分为前道制造(在晶圆上做电路)和后道封测(切成芯片并验证)两大阶段,主要顺序如下:
晶圆制备:将高纯度多晶硅拉制成单晶硅棒,切割打磨成抛光后的圆形晶圆片。
前道制造循环(多轮):在晶圆表面反复进行氧化/沉积→涂光刻胶→光刻(曝光+显影)→刻蚀→离子注入→退火→去胶→平坦化(CMP),逐层堆叠出晶体管与金属互连结构。
晶圆测试(CP,Chip Probe):用探针卡对准晶圆上的每个裸芯片(Die)做电性测试,标记出好坏芯片。
晶圆背面处理:对晶圆背面研磨减薄、抛光,必要时做金属化,方便后续散热与封装。
划片(Dicing):用激光或刀片将整片晶圆切割成独立的裸芯片。
封装(Packaging):将裸芯片固定在引线框架/基板上,打线或倒装互连,用塑封料或陶瓷封装保护,引出引脚/焊球。
终测(Final Test):对封装好的芯片做功能、性能、可靠性测试,筛选不良品。
包装出货:按规格分拣、编带/托盘包装,发给下游客户。
简单记就是:晶圆→做电路(光刻刻蚀等循环)→晶圆测试→切割→封装→终测→出货,前面是在一整片晶圆上“集体生产”,后面才是变成一个个独立芯片。
