Module Builder——Gem300之E40 ProcessJob模块

E40 ProcessJob（工艺作业，简称PJ）是SEMI E40（Processing Management）标准定义的核心对象，专门用于规范设备对物料（晶圆/基板）执行具体工艺加工的全生命周期管理。它是GEM300体系中真正“干活”的执行单元，通常与E94 ControlJob（ 调度单元）配合使用，构成300mm晶圆厂自动化的作业控制底座。

核心定位与价值

• 标准化工艺执行：定义对哪些物料（PRMtlNameList）、用哪个配方（RecID）、按什么顺序、在什么资源上加工的标准通信模型，消除私有接口导致的误处理风险。
• 精细化状态追踪：为每一批（或每一片）物料的加工过程建立独立的状态机，Host可实时掌握排队、准备、加工、暂停、中止等全阶段进度。
• 与调度解耦：PJ只关注“怎么加工”，不关心“先加工谁”；多PJ的编排、调度、协同由上层E94 ControlJob负责，职责清晰。

核心概念与对象关系

• Process Job（PJ）：由Host（工艺主管）创建的动态对象，绑定物料列表（PRMtlNameList）+配方（RecID）+加工资源，一旦物料到达即自动或由命令触发执行，无需Host再干预。
• 与ControlJob的关系：1个E94CJ包含1~n个E40PJ。CJ负责选中和启动，PJ负责实际工艺；PJ是CJ的执行载体。
• 与E87/E90的协同：PJ的物料来源于E87管理的Load Port/FOUP，加工过程中单片晶圆的位置由E90 Substrate Tracking实时追踪。

关键状态机（Lifecycle）

E40定义了PJ从创建到销毁的完整状态流转（Harel状态图），核心状态如下：

• QUEUED/POOLED：PJ已创建，在队列中等待资源分配或被选中。
• SETTING_UP：资源预处理阶段，如加载配方、腔室预热、预留硬件资源。
• WAITING_FOR_START：准备完成，等待显式启动命令（若PRProcessStart=false）。
• PROCESSING：物料就绪且配方加载完成，正在执行核心加工（如刻蚀、沉积、光刻）。
• PAUSING→PAUSED：收到暂停指令，过渡到安全中断点挂起，可恢复或中止。
• STOPPING：收到有序停止指令，在安全检查点平滑停止。
• ABORTING：收到紧急中止指令，立即终止并进入错误恢复。
• PROCESS_COMPLETE：所有物料加工完成，执行后处理（如腔室冷却、清理）。
• COMPLETE/ABORTED/STOPPED/CANCELLED：PJ终结，从设备内存中移除并上报最终结果。

所有状态转换都必须通过S6F11（Event Report）上报对应的CEID，确保Host端状态同步。

典型应用流程

1.创建PJ：Host通过PRJobCreate（S7F1）下发PJ定义（物料、配方、参数）。

2.入队/选中：设备接受后进入QUEUED；若绑定到CJ，由CJ选中后转入SETTING_UP。

3.准备：加载配方、预热腔室，若需手动启动则停在WAITING_FOR_START，收到PRJobStart后进入PROCESSING。

4.加工执行：实际工艺执行，期间可响应Pause/Stop/Abort命令。

5.完成：加工结束执行后处理，上报PROCESS_COMPLETE，PJ销毁并通知Host。

Module Builder中的ProcessJob模块主要是展示ProcessJob Service相关的事件和数据，并支持用户对其进行ID修改。同时还支持对ProcessJob Service相关的配置项进行修改。

ProcessJob Service相关配置项如下：

maximumProcessJobs：同一个CJob同时最多能管理多少个PJob可以用于验证当前是否有 ProcessJob 空间（防止ProcessJob 数量超过系统上限）。

completedRelease：它决定了筛选 Wafer 进释放列表的门槛是高还是低。

verifyJobMaterial：用来控制在 CompleteJobSetup阶段（Job 设置完成，准备进入 Processing / Waiting 状态）是否对 Process Job 的物料类型和物料清单进行合法性校验；开启时会调用 VerifyMaterial，一旦失败立即中止 Job 并抛出异常，防止非法物料进入后续工艺流程。

multipleActiveProcessJobsAllowed：用于控制同一 Equipment / Process 下是否允许同时存在多个处于“活跃状态”的 Process Job。