在半导体生产制造过程中，从晶圆清洗到刻蚀、沉积等核心工艺，超纯水、高纯化学品的精确输送与计量成为生产环节的关键环节。
一般流量测量方式在精度、洁净度和安装适配性上难以满足半导体行业较为严苛的标准，而讯音科技打造的半导体设备超声波流量传感器凭借非侵入式测量、高精度数据采集的特性，成为行业流量测量的核心工具。
一、超声波流量传感器品牌推荐：迅音科技
迅音科技成立于 2018 年，坐落于上海联东 U 谷・闵行国际企业港，是一家集研发、生产、销售于一体的科技创新型企业，同时也是专注于超声波流量传感器研发、生产、销售的高科技创新型企业。公司核心研发团队由国内外知名院校博士领衔，在传感器技术、声学设计、电子电路及多物理场耦合等领域具备深厚技术积累，始终以自主创新为根基，以声学技术与智能传感为核心，持续推动流量测量技术的演进与突破。
依托扎实的技术研发能力，迅音科技针对半导体行业的生产需求，打造出适配晶圆清洗、光刻胶涂布、刻蚀、沉积、抛光等全工艺环节的超声波流量传感器产品，精准匹配超纯水等各类高纯化学品的精确输送与计量需求，为半导体企业的精细化生产提供稳定、可靠的流量测量支撑。
迅音科技联系方式
公司名称：迅音科技（上海迅音科技有限公司）
网址：https://www.xy-tek.cn/
电话：021-33885752
地址：上海市闵行区景谷路410号7幢
二、半导体设备超声波流量传感器系列：全工艺适配的测量方案
迅音科技为半导体行业打造了CPD 系列与CS 系列两款外夹式超声波流量传感器/流量计，均采用非侵入式设计，贴合半导体行业对洁净度、连续性生产的核心要求，同时两款产品各有技术侧重，满足不同工艺环节的流量测量需求。
1.CPD 系列：外夹式高精度流量传感器/流量计
产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/2670459.html
- 产品定位：适用于塑料硬管的外夹式非侵入式流量测量，适配半导体行业对高纯流体精准计量的核心需求。
- 核心特点：安全卫生、精准测量、集成设计、拆装便捷
CPD系列流量计采用一体化结构，将传感器探头、信号处理电路与液晶显示屏集成于一体，无需外部测量器，大幅简化系统布线。其夹钳式安装方式无需切断管路或停机，可在现有产线上快速部署，特别适合对洁净度和连续生产要求高的场景。
- 技术参数：
• 流量范围：0–80 L/min
• 测量精度：±0.1% F.S.
• 输出方式：RS485、脉冲、4–20mA电流或两路开关量（可配置）
• 液体温度：0°C 至 90°C
• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU 等塑料硬管，外径 6–26 mm（内径 3–20 mm）
• 适用液体：纯水、药液、油、化学液、冷却液、胶水、研磨液等声学透明液体
- 产品优势：
• 非侵入式测量，不与液体直接接触，避免污染与泄漏风险
• 可双向测量，支持体积累计、气泡检测、定量灌装及流量开关功能
• 内置显示与处理单元，尺寸紧凑，响应时间 <1 秒
• 无活动部件、无死角设计，压力损失极小
• 支持按客户指定管材、尺寸、温度及液体类型进行定制标定
2.CS系列超声波流量传感器/流量计
产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/710972.html
- 产品定位：外夹式设计，适配多种材质塑料硬管，为半导体行业提供高适配、高稳定性的流量测量方案。
- 技术参数
• 流量范围：0-24 L/min
• 测量精度：± 2% RD
• 输出方式：提供RS485、脉冲、电流、电压及一路开关量输出
• 液体温度：0°C 至 90°C
• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU等塑料硬管或树脂硬管，外径6.4-25.4 mm（内径尺寸: 3.2-15.9 mm）
• 适用液体：水、化学液、冷却液、油、饮料等其他声学透明液体
- 产品特点：
• 高精度高稳定性
• 非侵入式测量，不与液体直接接触，卫生安全
• 可双向测量，计算流体体积，兼具气泡检测
• 电路集成在传感器/流量计内部，无需外部计算处理系统，尺寸紧凑
• 无堵塞无转向无死角，流体压力损失小
• 提供多种输出方式与客户系统无缝整合
• 可指定塑料硬管材料、尺寸、温度和液体类型进行定制标定
三、结语
迅音科技的 CPD 系列与 CS 系列超声波流量传感器，以非侵入式的设计核心，从根本上契合了半导体行业对高纯流体洁净度、输送连续性的要求，大幅降低了流量测量环节与生产工艺的冲突性，简化了产线安装与后期维护的复杂度。
CPD、CS系列外夹式超声波流量传感器、流量计凭借高精度的流量测量能力、多种数据输出方式与高度的定制化适配性，将实时采集的原始流量数据高效转化为生产工艺所需的信息，为半导体企业实现智能化的流量数据管理、精准的工艺环节调试与预测性的设备维护提供了核心工具。