基于VirtualLab Fusion的光学检测与精密成像（光学检测、精密成像、显微镜系统）课程

基于VirtualLab Fusion的光学检测与精密成像（光学检测、精密成像、显微镜系统）

课程时长：2天/城市

授课地点：上海

本课程聚焦于利用VirtualLab Fusion先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高NA镜头)的像质优化;并专门涵盖显微镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微观成像的一体化软件开发能力。

1. VirtualLab Fusion光之数字模型平台

1. 光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理
2. VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作
3. VirtualLab Fusion中非序列追迹的通道配置

1. 典型光学检测系统建模与性能验证

1. 基础迈克尔逊干涉仪建模仿真
2. OCT系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪
3. 用于光学表面测量的菲索干涉仪
4. 切尔尼-特纳光谱仪的仿真
5. Mirau干涉仪系统分析-显微干涉检测

1. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向）

1. 半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统
2. 晶圆两侧光栅图案的成像
3. 激光共聚焦扫描显微镜成像分析
4. 大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射
5. 晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真

1. 先进显微镜系统的物理光学级仿真

1. 显微镜系统的设计
2. 通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究
3. 荧光显微镜的彩色效应分析
4. 高NA傅里叶显微镜单分子成像
5. 高NA显微镜系统分析偶极子源的PSF
6. 显微镜系统中来自光圈的衍射

1. 光学系统的公差分析

1. 考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化
2. 镜头粗糙度对PSF的影响
3. 衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析