21：FDC数据采集系统基础（EAP对接核心）
一、本课学习目标
- 掌握FDC系统定义、作用、产线定位
- 彻底分清 MES / EAP / FDC 三者区别与分工
- 掌握机台上传的四大类采集数据
- 熟悉EAP与FDC的数据交互逻辑
- 学会判断FDC缺数、断采、数据异常问题
- 掌握现场FDC基础排查方法
二、FDC基础概念
1. FDC定义
- 全称：Fault Detection and Classification
- 中文：故障检测与分类系统
- 属于产线数据分析监控系统
2. 核心定位
- MES管「生产流程、工单、数量」
- EAP管「设备控制、自动化、通信中转」
- FDC管「数据采集、监控、异常分析、品质预警」
3. 核心价值
- 实时监控工艺参数波动
- 提前预判设备漂移、老化、异常
- 做SPC统计、良率分析、故障追溯
- 批量异常拦截，防止大批量报废
三、产线三层系统架构（必背）
1. MES（上层）
- 生产派工、Lot管控、生产记录、完工入库
- 只关心：有没有生产、生产多少、进度如何
2. EAP（中层核心枢纽）
- 对接MES与机台
- 控制机台自动化运行
- 转发所有机台数据、状态、报警给FDC
3. FDC（下层数据层）
- 不控制机台、不参与生产
- 只做：采集、存储、分析、预警、报表
四、FDC采集的四大类机台数据
1. 设备状态数据
- 机台状态：IDLE/RUN/PAUSE/ERROR
- 模式状态：LOCAL/REMOTE、ONLINE/OFFLINE
- 用途：设备稼动率、停机分析
2. 工艺参数数据（核心）
- 温度、压力、真空、流量、功率、时间、转速
- 属于模拟量AI数据
- 每一片、每一步都会实时上传
3. 报警数据
- 报警Code、报警内容、触发时间、清除时间
- 用于故障统计、停机原因分析
4. 生产履历数据
- Lot ID、Wafer ID、Recipe Name、机台号、加工时间
- 用于品质追溯、异常复盘
五、SECS/GEM对应FDC上报消息
1. S6F11/S6F12 Trace Data（核心）
- 实时工艺参数上报
- FDC曲线、数据点全部来自这条消息
2. S6F13/S6F14 Event Data
3. S5F1/S5F3 Alarm Data
4. S1/S2 状态消息
六、EAP与FDC完整数据流向
- 机台PLC/控制器采集AI/DI实时数据
- 机台通过SECS/GEM S6/S5消息上传给EAP
- EAP解析、过滤、整理数据
- EAP转发标准化数据至FDC服务器
- FDC存储、画曲线、做监控、做SPC分析
七、FDC常见异常现象与原因
1. FDC无实时曲线、无数据
- EAP与机台通信断开
- 机台未开启Trace Data上报
- S6F11消息未推送
- EAP-FDC网络中断
2. 数据断断续续、跳变丢失
3. 有数据但无报警记录
- S5报警消息未正常上报
- 机台屏蔽部分报警
- EAP报警配置缺失
4. 曲线正常但无生产履历
八、FDC问题标准排查步骤（EAP必用）
- 先看EAP与机台通信是否ONLINE
- 查看EAP日志是否收到S6F11/S5F1消息
- 确认机台数据上报功能已开启
- 检查EAP转发FDC服务是否正常
- 排查网络、端口、配置点位是否缺失
九、EAP在FDC体系中的职责
- 保证数据实时、完整、准确上传
- 不篡改、不屏蔽原始工艺数据
- 异常断采及时恢复、上报、记录
- 配合工艺做参数追溯、异常复盘
十、本课核心总结
- FDC只负责数据采集与分析，不控制机台
- MES管生产、EAP管设备、FDC管数据
- 工艺数据核心依赖S6F11消息
- FDC异常优先查：通信→消息→配置→转发服务
- EAP是FDC数据的唯一中转入口
十一、课后小作业
- 简述FDC的全称与核心作用
- 写出MES/EAP/FDC三者分工区别
- FDC采集哪四类数据？
- 工艺实时数据依靠哪条SECS消息？
- FDC无数据的五步排查法是什么？
