CVD金刚石单晶片：从实验室到产业化的技术突破

## MPCVD技术路线

微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）是目前制备高质量单晶金刚石的主流技术路线。相比传统高温高压（HPHT）法，MPCVD能够实现更高纯度和更大尺寸的单晶生长。

## 光学级金刚石的应用

光学级CVD金刚石单晶片在红外检测、高功率激光窗口等领域具有不可替代的优势。其宽光谱透过能力（220nm至50μm以上），峰值透光率可达71%（镀膜后98%）。

## 半导体散热前景

随着AI芯片和GaN功率器件的快速发展，金刚石以其超高导热率（约2000W/(m·K)），成为解决高功率密度散热问题的理想材料。硅基MPCVD金刚石复合晶圆兼容现有产线。

## 国产替代进行时

全球CVD金刚石市场预计2030年将达到180亿美元。国内企业已在光学级单晶的批量化生产上取得突破。